低能耗制氮机方法和装置，空气冷却后在精馏塔顶获得氮气，一部分被冷凝为液氮，其一部分作为产品液氮，其余作为回流液返回塔顶部；另一部分氮气进入换热器复热到常温，经膨胀机的增压端增压送入用户氮气输送管网；塔底获得富氧液空，进入换热器被冷流体过冷，节流再入冷凝蒸发器作为冷源与氮气进行换热，蒸发的富氧气进入换热器被复热后再入膨胀机膨胀制冷，膨胀后的低压富氧气体进入换热器复热引出。本发明通过富氧气膨胀输出的功增压氮气，降低了压缩机排压从而降低了能耗，以及液空被低压富氧气、氮气和压力富氧气等各种冷流体换热过冷，降低空气的含湿量提高提取率，降低能耗１５～２３％，水耗１４～２２％，经济效益十分可观。